Is féidir le héilleáin bheaga ar chláir chiorcaid leictreonacha éifeachtúlacht leictreonach a laghdú agus damáiste a dhéanamh do chláir chiorcaid leictreonacha. Le forbairt na teicneolaíochta, tá leathsheoltóirí, feistí micreictreonaic ag fáil níos lú agus níos lú, tá na cáithníní is gá a ghlanadh ag fáil níos lú agus níos lú, tá an deacracht glantacháin ollmhór, tá a n-míbhuntáistí féin ag níocháin uisce traidisiúnta agus glanadh ultrasonaic, tugann glanadh léasair nua. dóchas agus éiríonn an modh glantacháin is fearr.
Is ábhar tábhachtach é scannán polyimide i gcomhpháirteanna leictreonacha, is ábhar tréleictreach é do struchtúr nasctha inmheánach scannáin ilchisealacha de chomhpháirteanna leictreonacha ardluais, ard-dlúis, ach is minic a chlúdaítear é le hábhar salaithe cáithníneach, lena n-áirítear cáithníní tíotáiniam, cáithníní cróimiam. , cáithníní tungstain, cáithníní nicil, etc. Ní mór na hábhair salaithe seo a ghlanadh chun a chinntiú go n-oibríonn an scannán polyimide i gceart. Glanadh scannán polyimide, ag baint úsáide as léasair excimer, roghnaigh an tonnfhad léasair 235nm, pulse 20ns, dlús fuinnimh léasair de 80mj/cm2, ag baint úsáide as modh oibríochta robot uathoibrithe, tá éifeachtacht ghlanadh an-ard, tar éis a ghlanadh fuarthas éifeacht glantacháin den scoth, ag baint úsáide as an speictriméadar a bhrath an cóimheas a bhaint ábhar salaithe de níos mó ná 95 faoin gcéad, tá bainte amach an caighdeán riachtanach, tá éifeachtacht glanadh ard.
Tá go leor feidhmeanna eile léasair i nglanadh comhpháirteanna leictreonacha, mar shampla glanadh cláir chiorcaid leictreonacha, glanadh wafer sileacain, glanadh ciorcad comhtháite, glanadh ciorcaid bhog, glanadh feistí optoelectronic, etc. Na hábhair seo le forbairt na heolaíochta agus na teicneolaíochta , comhtháthú méadaithe, bioráin níos mó agus níos mó, tá poill ag fáil níos lú freisin, tá modhanna glantacháin traidisiúnta deacair a bheith ag obair, glanadh léasair mar gheall ar chruinneas ard, éasca le hoibríochtaí uathoibrithe, paraiméadair inchoigeartaithe, éifeachtacht ghlanadh agus buntáistí eile, deannaigh a bhaint go héifeachtach, ramhar. , ocsaíd agus cáithníní eile ar dhromchla na gcomhpháirteanna leictreonacha, go héifeachtach feabhas a chur ar marthanacht na gcomhpháirteanna leictreonacha. Soláthraíonn glanadh léasair teicneolaíocht éifeachtach agus iontaofa don tionscal micrleictreonaic ina bhfuil méideanna gléas beag agus nach bhfuil cáithníní fíneáil glanta go héasca. Ag an am céanna níl glanadh léasair ann le haghaidh caitheamh ábhar an tsubstráit agus is féidir le creimeadh, de réir riachtanais an chomhshaoil, oibriú i spás cúng, gan aon mheaitseáil le haon phróiseas glantacháin eile.
Comhlíonann glanadh léasair na ceanglais maidir le cosaint an chomhshaoil, de réir riachtanais na forbartha inbhuanaithe, toisc go bhfuil costas glantacháin léasair ag fáil níos ísle agus níos ísle, glactar le glanadh léasair comhpháirteanna leictreonacha ag fiontair níos mó agus níos mó.
Roimh 2016, tá costas glantacháin léasair comhpháirteanna leictreonacha 20 uair an costas a bhaineann le glanadh uisce agus ceimiceach traidisiúnta, le forbairt na teicneolaíochta glantacháin léasair agus trealamh glantacháin léasair le blianta beaga anuas, tá an laghdú praghais, costais glantacháin anois gar do na traidisiúnta. costas de.
