Faoi láthair, úsáideann liteagrafaíocht tráchtála EUV córas foinse solais ultraivialait ultraivialait de chineál plasma léasair (LPP-EUV), atá comhdhéanta go príomha de léasair tiomána, sprioc stáin droplet, agus scáthán bailitheoir. Tar éis dhá bhuamáil chruinn ar an sprioc stáin droplet ag an léasair tiomána, déanfar an stán a ianú go hiomlán agus ginfidh sé radaíocht ardfhuinnimh EUV, a bheidh léirithe agus dírithe go pointe fócasach (pointe IF) ag an scáthán bailithe agus ansin cuirfear isteach é. tarchur an chonair solais ina dhiaidh sin.
Is minic a bhíonn giniúint agus cóineasú bannaí eile solais (Out-of-band, OoB) ag gabháil le próiseas excitation agus fócasú EUV. Is féidir cuid de na soilse seo a bhaint trí úsáid a bhaint as hidrigin chúlra nó tá siad neamhíogair don fhótatreiseoir, mar sin is beag an tionchar a bhíonn acu. Mar sin féin, tá bannaí eile solais ann a d'fhéadfadh damáiste tromchúiseach a dhéanamh don chóras liteagrafaíocht iomlán agus tionchar a imirt ar fheidhmíocht íomháithe deiridh, mar shampla solas ultraivialait dhomhain (DUV) agus infridhearg (IR) faoi bhun 300 nm. Eascraíonn an chéad cheann de bharr bombardú léasair ar an sprioc stáin, rud a fhágann go laghdaítear codarsnacht an phhatrún liteagrafaíochta toisc go bhfuil an photoresist an-íogair don bhanna solais seo; Cé go n-eascraíonn an dara ceann as an léasair tiomána, beidh a n-ardfhuinneamh ina chúis le céimeanna éagsúla teasa na n-eilimintí optúla, na maisc, agus na sliseog, rud a laghdaíonn cruinneas an phhatrún agus a dhéanann damáiste do na heilimintí optúla. Ina theannta sin, tá frithchaiteacht an dromchla scátháin bailiúcháin ar an gcéad cheann beagnach mar an gcéanna le EUV, agus tá frithchaiteacht an dara ceann gar do 100%, mar a thaispeántar i bhFíor 1. Glac IR mar shampla, mar an solas tiomána. ceanglais chumhachta léasair foinse do 20 kW, tar éis an mhachnaimh agus an chóineasaithe scáthán bailiúcháin, tá a chumhacht chun an pointe IF a bhaint amach fós beagnach 10%, is é sin, thart ar 2 kW; áfach, d'fhonn a dhéanamh ar an IR ar an gcóras ar fad nach bhfuil beagnach aon éifeacht, tá sé riachtanach a laghdú a thuilleadh ar an chumhacht ag an bpointe IF de ar a laghad 1%, is é sin, ach 20 W thíos. Le éileamh ard den sórt sin, is gá radaíocht OoB a scagadh amach, rud a dhéanfadh díghrádú go mór ar fheidhmíocht an chórais foinse solais mura ndéanfaí é a scagadh ionas go léireofaí é ag scátháin an bhailitheora agus go gcuirfí isteach ar an gcosán solais ina dhiaidh sin.
Fíor 1 Frithchaitheamh ríofa bandaí tonnfhaid éagsúla an tsolais ó 50-chiseal moluibdín/sileacain ilchiseal a bhfuil peiriad 6.9 nm aige agus cóimheas moluibdín/sileacain de 0.4 ar dhromchla scáthán an bhailitheora .
Struchtúr scagaire i gcóras foinse solais liteagrafaíocht EUV
Tá foireann Nan Lin agus Yuxin Leng ó Phríomh-Saotharlann Stáit na Fisice Léasair Tréan Réimse, Institiúid Innealra Optúil Shanghai, Acadamh Eolaíochtaí na Síne (SIOM), tar éis na príomhtheicneolaíochtaí, na príomhdhúshláin agus na treochtaí sa todhchaí de chórais scagtha EUVL a mhionsaothrú go córasach le maidir leis na tonnfhaid eisbhanda i gcórais foinse solais liteagrafaíocht EUV.
Foilsítear na torthaí san alt High Power Laser Science and Engineering 2023, Uimh. 5 (Nan Lin, Yunyi Chen, Xin Wei, Wenhe Yang, Yuxin Leng. Córais íonachta speictreach i bhfeidhm ar fhoinsí liteagrafaíocht ultraivialait plasma a tháirgtear le léasair: a athbhreithniú[J] Eolaíocht agus Innealtóireacht Léasair Ardchumhachta, 2023, 11(5): 05000e64).
I gcórais foinse solais EUVL, is gnách go mbíonn tionchar mór ag an DUV plasma-ghinte agus an IR a eascraíonn as an bhfoinse solais tiomána ar fheidhmíocht liteagrafaíocht agus ar shaolré an chórais optúil, agus ar an struchtúr scannán ilchiseal moluibdín / sileacain ar dhromchla an. tá frithchaitheamh ard ag scátháin bhailitheora dóibh, agus mar sin tá córas scagtha foinse solais EUVL deartha go príomha dóibh. DUV déine fuinnimh íseal, is féidir le húsáid struchtúr scannán tarchurtha nó machnamhach neamhspleách éifeacht scagtha maith a bhaint amach, ach mar gheall ar neart meicniúil íseal struchtúr an scannáin éasca le réabfaidh scannáin agus fadhbanna eile a bheith mar thoradh air, tá an saol seirbhíse níos giorra. I gcodarsnacht leis sin, ní féidir IR le fuinneamh ard a scagadh go simplí trí scagairí scannáin thanaí a úsáid. Ina áit sin, is gá struchtúir ghríleanna ilchiseal a phróiseáil agus a bhratú ar fhoshraith scátháin an bhailitheora (léirithe i bhFíor 2), chun IR na dtonnfhad sonracha a scagadh trí dhíraonadh agus an oiread radaíochta EUV agus is féidir a choinneáil (léirithe i bhFíor 3). ). Cuireann an modh seo éilimh an-ard ar dhearadh, ar phróiseáil agus ar thomhas an struchtúir ghríl, go háirithe maidir le garbh an dromchla grating agus aonfhoirmeacht an scannáin ilchiseal a rialú, chomh maith le tionchar na bparaiméadar airde-bhunaithe den struchtúr grating. ar an bhfrithchaiteacht, nach mór dúinn a thomhas go dtí ach cúpla nanaiméadar nó fiú fo-nanaiméadar. Maidir le córas foinse solais iomlán EUVL, socraíonn an réad scagtha go bhfuil an córas scagtha deiridh deacair a bheith ann i struchtúr amháin, rud a chaithfidh struchtúr scannán tanaí neamhspleách agus struchtúr gríl tógtha an scátháin bhailithe a mheas. , d'fhonn an tionchar ar fheidhmíocht liteagrafaíochta an OoB a bhaint amach don scagachán foriomlán, ionas go n-áiritheofar íonacht fhoinse solais EUV.
Fíor 2 Léaráid scéimreach den struchtúr gríl atá ionsuite i scáthán an bhailithe.
Fíor 3 Léaráid scéimreach de phrionsabal an scagtha IR de réir struchtúr gríl ionsuite an scátháin bhailiúcháin.
Déanann an t-alt achoimre ar na réitigh theicniúla príomhshrutha de chóras scagtha foinse solais EUVL, déanann sé anailís ar an bpríomhtheicneolaíocht a bhaineann le radaíocht OoB a scagadh, agus pléann sé na príomhdhúshláin agus treochtaí forbartha sa todhchaí i bhfianaise iarratais phraiticiúla. Cinneann feidhmíocht foinse solais EUV feidhmíocht liteagrafaíochta. patrúin, agus d'fhonn foinse solais EUV ard-íonachta a fháil ar deireadh thiar, is gá dearadh an chórais scagtha, an próiseas déantúsaíochta chun cinn, agus an modh tomhais chun cinn a fheabhsú. D'fhonn foinse solais EUV ard-íonachta a fháil, tá sé fíor-riachtanach feabhas a chur ar dhearadh an chórais scagtha, déantúsaíocht próisis, agus modh tomhais.
