Díríonn Huawei Tonnta Turrainge ón Tionscal, Déantúsaíocht Léasair chun Cabhrú le Forbairt Sliseanna

Ar 29 Lúnasa, chaith Huawei buama trom - Huawei MATE 60 pro, níos lú ná uair an chloig tar éis an díolachán a dhíol amach. Is é an fáth gur chuir an tsamhail nua seo ar díol tonnta turrainge tionscail as, go príomha mar gheall ar nuair a chuir sliseanna ard-phróisis na Síne ag an muineál Thiar, go díreach "turraing" ar fheidhmíocht Huawei, agus d'fhéadfadh go gciallódh an gníomh seo gur réitigh Huawei an Fhadhb. Ag caint faoi sceallóga ard-phróisis, mar a bhí le feiceáil ar phríomhcharachtar liteagrafaíocht EUV. Faoi láthair tá liteagrafaíocht EUV na hÍsiltíre Asmay ar an gceann is airde chun cinn, ar féidir leo sliseanna ard-deireadh 5nm a mhonarú, agus níl ach liteagrafaíocht go hiomlán neamhspleách na Síne ag osna próiseas 90nm, is féidir leis an difríocht a bheith níos mó ná leath réalta. Is é ceann de na trealamh lárnacha de liteagrafaíocht EUV an léasair, agus is é Trafigura na Gearmáine an t-aon soláthraí den phríomh-chomhpháirt seo do Asmac. Cén fáth go bhfuil an léasair chomh tábhachtach? Toisc go n-úsáideann liteagrafaíocht EUV solas ultraivialait foircneacha a bhfuil tonnfhad de 10-14nm mar fhoinse solais aige. Anseo ní mór dúinn a thuiscint cén ról atá ag an léasair sa mheaisín liteagrafaíocht EUV ar fad.
Sa chéim tosaigh de ról an liteagrafaíocht EUV, déanfaidh an chéad ghineadóir an titeann stáin isteach sa seomra folúis, ag an am seo as an léasair ard-chumhachta tapa pulsed aschuirfidh níos mó ná 30kW cumhacht cuisle meán an bhíoma léasair, an bhuaic. is féidir le cumhacht Pulse fiú roinnt meigeavata a bhaint amach, ionas go mbuailfidh sé ó thaobh an titim den titim stáin, suas le 50,000 uair in aghaidh an tsoicind. Déantar na hadaimh stáin a ianú, rud a chruthaíonn plasma ard-déine a astaíonn radaíocht EUV ag tonnfhad 13.5 nm i ngach treo. Is é seo croílár liteagrafaíocht EUV, a "foinse". Tá an próiseas ina mbuaileann an fhoinse solais tosaigh an leacht stáin roinnte ina dhá chéim i ndáiríre, a bhfuil dhá phríomhbhuls i gceist leis, ar a dtugaimid an réamhbhuls agus an phríomhbhulse. Is é an réamh-pulse mar a thugtar air, mar a thugann an t-ainm le tuiscint, an chéad cheann a fheidhmíonn ar an stáin leachtach, go príomha chun é a mhúnlú sa chruth atá ag teastáil don chéad chéim eile. Agus ansin gníomhaíonn an príomh-pulse go díreach air, a thiontaíonn sé ina phlasma. Tá sé seo an-éilitheach ar an bhíoma a scaoiltear ag an léasair, a chaithfidh na tréithe optúla cearta a bheith aige chun a chinntiú gur féidir an leacht stáin a chóireáil i gceart chun an plasma a tháirgeadh agus mar sin an radaíocht EUV. Mar sin an mbeidh níos mó feabhsuithe ag léasair chumhachta níos airde chun radaíocht EUV a ghiniúint, nó an féidir le léasair chumhachta níos airde teicneolaíochtaí eile a fhágáil ar lár agus ceanglais theicniúla iomlána na litagrafaíochta sa todhchaí a dhéanamh níos gonta? Go deimhin, bhí baint ag eolaithe na Síne go luath leis an staidéar.
I 2021, chríochnaigh grúpa taighde Fisic Innealtóireachta Ollscoil Tsinghua Tang Chuanxiang agus foireann taighde na Gearmáine foinse solais pedal gáis cáithníní nua ar a dtugtar "micrea-bhíoma seasta-stáit" (SSMB) chun prionsabal an turgnaimh a fhíorú. Tuairiscítear gurb é príomhúsáid tonnfhad léasair de 1064 nanaiméadar chun an bhíoma leictreon a ionramháil i bhfáinne stórála MLS Bheirlín, ionas go mbeidh sé timpeall an fháinne ciorcal iomlán (imlíne 48 méadar), ionas go mbeidh micrea-polaiméir fíneáil ann. bhíoma. Radaíonn na bíomaí microcluster solas comhleanúnach caol-bandaleithead ard-déine ag an tonnfhad léasair agus a chuid armónacha níos airde, agus dheimhnigh na turgnaimh foirmiú na bíomaí microcluster tríd an radaíocht a iniúchadh, rud a léiríonn gur féidir céimeanna optúla na n-leictreon a chomhghaolú i gciorcal-. seach-chiorcal le cruinneas níos giorra ná an tonnfhad léasair, rud a ligeann do na leictreoin a bheith gafa go cobhsaí sna toibreacha optúla féideartha atá déanta ag an léasair, agus mar sin fíoraíonn sé meicníocht oibríochta an SSMB. Tugann sé seo le tuiscint freisin go bhfuiltear ag súil go mbainfidh foinsí solais EUV atá bunaithe ar SSMB amach anseo meánchumhacht níos mó agus tonnfhaid a d'fhéadfadh a bheith níos giorra, a mbeidh tionchar mór acu ar uasghrádú agus leathnú iarratais ar liteagrafaíocht EUV sa todhchaí.
Ní mór forbairt litagrafaíocht EUV a iniúchadh agus a charnadh, agus níor cheart go mbeadh sé ach ceist ama sula bhféadfaidh teicneolaíochtaí nua feabhas a chur ar phróiseas sliseanna liteagrafaíocht EUV, a tomhaltas fuinnimh a laghdú agus briseadh trína theorainneacha. B’fhéidir nach atriall de liteagrafaíocht EUV atá sa todhchaí, ach go bhfuil teicneolaíochtaí nua le cur ina áit. Tá cumhacht léasair gan teorainn, agus creidim go bhfuil i bhfad níos mó féidearthachtaí ag fanacht le fáil amach.