Le cúig bliana anuas, tá déantúsaíocht leathsheoltóra domhanda beagnach comhchiallach le geopolitics meaisíní liteagrafaíocht. Is iad córais liteagrafaíocht EUV ASML an t-aon phas amháin chuig ardphróisis: ní mór d’aon chuideachta atá ag iarraidh nóid faoi 5nm a iontráil dul tríd an eite mheicniúil seo-meaisín a chosnaíonn os cionn $300 milliún agus comhdhéanta de 450,000 páirt.
Ó Apple go TSMC, Samsung go Intel, tá luas nuálaíochta an tionscail ar fad srianta go hindíreach ag a chumas táirgthe agus a rithim soláthair ...
Le déanaí, nocht foireann an Ollaimh Kuang Cuifang ag an tSaotharlann Náisiúnta Eochrach um Theicneolaíocht agus Ionstraimíocht Optúil Foircní (Institiúid Taighde um Theicneolaíocht na hIonstraime agus um Theicneolaíocht an Fhíor-Optúil) a ngnóthachtáil: an "10,000-Córas Litagrafaíochta Scríbhneoireachta Díreach Nana-Léasair 3D Channel." Soláthraíonn an dul chun cinn seo tacaíocht nua chun freastal ar éilimh thionsclaíocha ar-déantúsaíocht mhór-chruinneas i bpróiseáil micrea/nana.
Dhearbhaigh an Coiste Saineolaithe ar Ghnóthachtálacha Eolaíoch agus Teicneolaíocha Chumann Optúil na Síne d'aon toil: Léiríonn an tionscadal seo nuálaíocht shuntasach in ailtireacht an chórais, algartaim rialaithe réimse éadrom, agus straitéisí próiseála ard-tréchuir, le méadracht feidhmíochta foriomlán ag baint amach na leibhéil is fearr go hidirnáisiúnta.
1. Nuálaíocht · Teorainneacha a Bhrú ó "Single-Beachtais Stróc" go "Deich-Míle-Sioncronú Stróc"
Tá dhá -teicneolaíocht scríbhneoireachta díreach léasair fhótóin, lena bhfuil ardtaifeach, éifeachtaí teirmeacha ísle, cumas saor ó mhascanna, agus poitéinseal próiseála 3D, ar thús cadhnaíochta le fada i monarú micrea/nana. Aimsíonn sé feidhmchláir fhairsing i ndéantúsaíocht sliseanna, bithleighis, stóráil optúil, micrea-shreabhach, agus braite beachtas.
Mar sin féin, tá teorainneacha luais phróiseála i ndán do scríbhneoireacht dhíreach le cainéal traidisiúnta aonair, áfach, agus bíonn sé ag streachailt le héilimh thionsclaíocha a chomhlíonadh ar-déantúsaíocht limistéir mhóra, ardchruinneas.
"Faoi láthair, baineann trealamh tráchtála ar fud an domhain úsáid go príomha as léasair aon-léasa chun patrúin 2T nó struchtúir 3D a phriontáil go pointeáilte ar ábhair fhoshraithe. agus Lárionad Idirnáisiúnta um Nuálaíocht Eolaíochta agus Teicneolaíochta Hangzhou (STIC).
Mhol foireann Kuang Cuifang go nuálaíoch scéim rialaithe réimse solais a chomhcheanglaíonn micrathscátháin dhigiteacha le eagair mhicriléine, rud a chuir ar chumas níos mó ná 10,000 (137 × 77) pointe fócasach léasair inrialaithe go neamhspleách a ghiniúint laistigh den chóras. Is féidir fuinneamh gach pointe fócais a choigeartú go mín go dtí os cionn 169 leibhéal, ag baint amach fíor-rialú neamhspleách ilchainéil. Feidhmíonn an gléas ag ráta priontála de 2.39×10⁸ voxels/s, agus tá luas próiseála agus beachtas ag baint leis na hardleibhéil idirnáisiúnta.
Ag an am céanna, chun aghaidh a thabhairt ar dhúshláin theicniúla ar nós déine solais éagothrom agus easnaimh i measc na n-ilphointí fócasacha, d'fhorbair an fhoireann algartam optamaithe domhanda cliste. D'fheabhsaigh sé seo aonfhoirmeacht déine solais an eagar fócasach go dtí os cionn 95% agus ag an am céanna ceartaíodh saobhadh spota go héifeachtach, feabhas suntasach ar chomhsheasmhacht agus ar chruinneas próiseála thar ilbhealaí.
Ina theannta sin, mhol an fhoireann taighde ilstraitéisí próiseála nuálaíocha. Ní hamháin gur gradam “chun tosaigh go hidirnáisiúnta” atá san éacht seo, ach dul chun cinn suaite teicneolaíochta. Léiríonn sé go bhfuilimid tar éis aistriú ar deireadh ó "snáthaid bróidnéireachta" amháin a chaitheamh go dtí ré "deich míle snáthaidí a bróidnítear i gcomhar le chéile" i réimse micreascópach déantús struchtúir bheachtais.
2. Ceannaireacht · Nuálaíocht slabhra iomlán ó Frontier Science go Tráchtálú
Ní hamháin go bhfuil an teicneolaíocht chomh mór sin le hardú na heolaíochta a mhéadú ach leis an mbearna idir an tsaotharlann agus an tionsclaíocht a líonadh. Léiríonn breith an chórais liteagrafaíochta ilchainéil 3D nana-léasair díreach-scríobh a leithéid de "chríoch-chun-deireadh a chur le nuálaíocht," ag soláthar uirlisí déantúsaíochta a mheastar a bheith doshamhlaithe uair amháin do go leor tionscail cheannródaíocha.
sliseog 12-orlach arna phróiseáil ag an gcóras ilchainéil 3D nana{-scríobh go díreach léasair
A bhuí le cur chuige nuálaíoch agus taiscéalaíochta na foirne, sroicheann an gléas beachtas próiseála ag druidim le fo-30 nm, ráta próiseála 42.7 mm²/nóiméad, agus uasmhéid scríbhneoireachta a chlúdaíonn sliseog sileacain 12-orlach. Thug an t-acadamhaí Wu Hanming, Príomh-Eolaí sa réimse ag an Ionad Nuálaíochta Eolaíochta agus Teicneolaíochta, faoi deara, "Táthar ag súil go gcuirfear an teicneolaíocht seo i bhfeidhm ar dtús in earnálacha táirgí saincheaptha, ard-éileamh, baisceanna beaga, agus beidh sé i gceannas ar threoir forbartha tionscail ghaolmhara sa todhchaí."
Ag an Sci{0}}Tech Innovation Centre, tá comhshaotharlann bunaithe ag an institiúid taighde le Hangzhou Yuzhiquan Precision Instruments Co., Ltd. Díríonn an comhoibriú seo ar aghaidh a thabhairt ar dhúshláin eolaíocha cheannródaíocha i dteicneolaíocht liteagrafaíochta scríbhneoireachta dírí léasair léasair náisiúnta agus ag an am céanna ag cur chun cinn tráchtálú T&F uirlisí optúla deiridh, ag cothú comhtháthú domhain idir nuálaíocht eolaíoch agus thionsclaíoch.
Faoi láthair, tá réamh-chomhaontuithe bainte amach ag an institiúid maidir le haistriú teicneolaíochta le fiontair iolracha i réimsí lena n-áirítear déantúsaíocht masc, frithghóchumadh optúil, agus AR/VR. Dúirt ceannaire an tionscadail Kuang Cuifang go bhfuil an trealamh seo ...
