Tá teacht chun cinn agus forbairt tapa léasair ultra-ard-déine, bíog ultrashort tar éis coinníollacha fisiceacha gan fasach agus modhanna turgnamhacha nua-aimseartha a sholáthar don duine, agus tá siad anois ar an teorainn is déanaí maidir le heolaíocht agus teicneolaíocht léasair idirnáisiúnta chomh maith le réimse fócas na hiomaíochta. . Is é an gríl comhbhrú pulse an croí-chomhpháirt sa ghléas léasair ultra-ghearr déine ultra-ard, agus socraíonn oscailt an ghríl teorainn uachtarach an chumhachta aschuir léasair. Níl na cumais déthreomhaireachta déthreomhaireachta ar scála méadair ag forbairt intíre agus eachtrannach ar nochtadh scanadh mín-bhíoma, nochtadh tarchurtha réimse trasnaíochta statach, splicing nochta agus scribing mheicniúil agus modhanna eile.
Fíor 1 Torthaí earráide lán-minicíochta de chóras nochta scátháin parabolic Φ300mm eis-ais: (a) Earráid chrutha dromchla íseal-minicíochta scátháin eis-ais arna thomhas ag 4-interferometer Zygo orlach. (b) Pictiúir den earráid lár-minicíochta agus dáileadh réimse solais a fhaightear tar éis scagadh de réir an mhúnla; (c) Earráid ardmhinicíochta a fhaightear trí úsáid a bhaint as próifíleoir solas bán Zygo ar a bhfuil lionsa 20x agus grianghraf den masc gráta arna thomhas ag micreascóp. (d) cuar dlús speictreach cumhachta 1T.
Tá scéim nuálaíoch molta ag Shanghai Institute of Optical Machinery (SIOM) chun grátálacha comhbhrú bíogacha ar scála méadair a dhéanamh ag baint úsáide as córas nochta frithchaiteach lasmuigh den ais ar thrastomhas mór. Is é croílár an chláir ná scátháin parabolacha ard-chruinneas lasmuigh den ais a úsáid chun dhá bhíoma solais comhthreomhara a fhoirmiú chun réimse solais nochta aonfhoirmeach a thógáil ar scála mór, agus déantar aonfhoirmeacht an réimse solais a chinneadh go príomha ag earráid dromchla an as. -ais scátháin parabolic, go háirithe i lár agus earráidí minicíocht ard. Mar gheall ar an easpa córas meastóireachta cainníochtúil ar earráidí déantúsaíochta ar aonfhoirmeacht réimse éadrom agus an próiseas meaisínithe ard-chruinneas gaolmhar le cóineasú comhsheasmhach earráidí ar fud an raon minicíochta, níl aon fasach rathúil ann fós.
Bunaithe ar theoiric díraonta an réimse solais saor in aisce, tá múnla mapála bunaithe ag an bhfoireann idir an earráid banna minicíochta ar dhromchla scátháin parabolacha frithchaiteacha lasmuigh den ais agus aonchineálacht an réimse solais nochta, bhunaigh córas innéacs cainníochtúil don mhinicíocht. earráid bhanna ar chruth an dromchla scátháin, agus ansin teicneolaíocht próiseála nuálaíoch a chur ar aghaidh chun earráid banna lán-minicíochta an scátháin nochta a chóineasú d'aon toil. De réir an chórais meastóireachta innéacs arna chinneadh ag an múnla, ba cheart go mbeadh earráidí meánacha agus ard-minicíochta na scátháin nochta níos fearr ná 0.65 nm agus 0.5 nm, faoi seach, agus dá bhrí sin, rinneadh córas nochta frithchaiteach eis-ais de Φ300 mm trí ghlacadh leis an teicneolaíocht phróiseála thuas. Sa chóras seo, cuireadh RMS an scátháin faoi chois go 0.586 nm agus 0.462 nm, agus cuireadh deireadh leis an earráid thréimhsiúil agus an earráid stripe rialta go hiomlán. Ar deireadh, rinneadh gríl díraonta scannáin ilchisealach tréleictreach (MLD) le méid 200 mm × 150 mm a dhéanamh go rathúil trí úsáid a bhaint as an gcóras nochta seo, le meánéifeachtúlacht díraonta 98.1% ag an leibhéal -1 agus tá aghaidh tonn díraonta PV níos fearr. ná 0.3 tonnfhad.
Soláthraíonn an taighde seo chun gríl díraonta mórchró a dhéanamh bealach nua chun feiste léasair ardchumhachta 100 pat-watt a fhorbairt ina dhiaidh sin a theastaíonn le haghaidh an ghríl chomhbhrú bíog leibhéal méadair chun an bunús teicniúil a leagan.
Fíor 2 Tonnéadanas díraonta agus dáileadh éifeachtúlachta 200mm × 150mm MLD grating: (a) -1 tonnéadan díraonta leibhéal. (b) 0-tonnéadanas díraonta leibhéil. (c) +1-tonnéadanas díraonta leibhéil. (d) Éifeachtúlacht díraonta an ghríl MLD ag 1740 l/mm, le héifeachtacht díraonta aonfhoirmeach laistigh den chró éifeachtach ag 1053 nm (Ave=98.1%, σ=0.3%, Uasmhéid {{ 12}}.6%). (e) Íomhá fhisiciúil den ghríl MLD ag baint úsáide as an modh frithchaiteachais.
