Institiúid Optaic agus Innealra Beachtais Shanghai (SIPM) ag Déanamh Dul Chun Cinn maidir le Calabrú Lionsaí Díraonta Mór-trastomhas

Le déanaí, mhol Saotharlann Chomhpháirteach na Fisice Léasair Ardchumhachta ag Institiúid Shanghai um Optaic agus Innealra Beachtais (SIPM) d'Acadamh Eolaíochtaí na Síne (CAS) modh calabrú interferometric aon-nochtadh do lionsaí díraonta mór-chaighdeán, a sholáthraíonn láidir. tacaíocht d'fheidhmiú innealtóireachta lionsaí díraonta den scoth. Foilsíodh na torthaí taighde gaolmhar in Optics Letters faoin teideal Tomhas iomlán ar airíonna fócasaithe lionsa díraonta mórchró.
I gcomparáid le lionsaí fócasaithe fillte-ais, tá eilimintí optúla díraonta solúbtha i ndearadh, mór i cró, solas i meáchan, oiriúnach do bhannaí tonnfhad éagsúla, agus in ann feidhmeanna optúla casta a bhaint amach, agus is samplaí tipiciúla de lionsaí díraonta iad rilleáin fótóin agus bileoga ribín. . Ag cur san áireamh go bhfuil líon mór microstructures comhdhéanta d'eilimintí díraonta, tá diallais dosheachanta le linn próiseála, agus mar sin ní mór an fheidhmíocht a chalabrú roimh úsáid.
Sa staidéar seo, úsáidtear an solas cúlra nádúrtha de lionsa diffractive Cró mór mar thagairt, a théann isteach sa chóras idirferometric lomadh mar aon leis an bhíoma dírithe. Tá an obair bunaithe ar an interferogram taifeadta ag an brathadóir, faightear grádán tonn tosaigh an bhíoma dírithe i leith an tsolais chúlra trí anailís Fourier, ansin déantar an tonnfront tarchurtha a aisghabháil ag baint úsáide as an modh mód, agus ar deireadh an fad fócasach agus an láthair fócasach. déantar moirfeolaíocht an lionsa díraonta a ríomh go huimhriúil. Tá torthaí turgnamhacha an lionsa díraonta 210-mm-cró de réir ionchais theoiriciúil. Is féidir slisní tonnbhanda Cró Ultra-mhór agus criathar fótóin a úsáid i teileascóip spás-idirmhéadracha. Tá rilleoga fótóin scoilteadh bíoma le struchtúir fhéinchothaithe oiriúnach d'íomháú dírithe ar EUV agus x-ghathanna boga. Is féidir rilleoga fótóin ilfhócacha a úsáid chun plasma a dhiagnóiseadh in-idirmhéadrach x-ghathach.
Thacaigh Fondúireacht Náisiúnta Eolaíochta Nádúrtha na Síne agus an Clár Píolótach Straitéiseach de chuid Acadamh Eolaíochtaí na Síne (Aicme A) leis an obair seo.

Figiúr 1. Tomhas cosán optúil de lionsa diffractive mór-trastomhas