Le déanaí, rinne foireann Zhang Junyong ag an gComh-Saotharlann um Fhisic Léasair Ardchumhachta, Institiúid Optaic agus Innealra Beachtais Shanghai (SIPM), Acadamh Eolaíochtaí na Síne (CAS), mar aon le grúpa an Ollaimh Yongpong Zhao ag Institiúid Teicneolaíochta Harbin (HIT), Tá an chéad dul chun cinn déanta aige maidir le rialú agus múnlú eagair ar réimsí optúla dírithe ar EUV agus ar x-ghathanna boga, rud a réitigh an fhadhb a bhaineann le teorannú na gcomhpháirteanna le haghaidh íomháithe díraonta agus braiteadh idirfhiriméadrach sna bannaí tonnfhad ultraivialait (UV) agus x-gha. Foilsíodh na torthaí mar "Cruth solais saor in aisce ag díriú ar radaíocht mhór-ultraivialait le rilleáin fótóin féin-éabhlóideacha" i dTuarascálacha Eolaíoch.
Ó d’aimsigh Roentgen x-ghathanna, is iad foinsí solais gearrthonnta ard-chomhleanúnacha agus eilimintí fócasaithe gearrtonn ardfheidhmíochta an dá bhac a chuir srian le forbairt na heolaíochta x-gha. Díríonn radaíocht synchrotron agus léasair saor-leictreon, mar shampla, ar na bannaí x-ghathaithe bog agus crua, agus clúdaíonn léasair plasma urscaoilte an ultraivialait mhór agus cuid den bhanna x-ghathaithe bog. De réir mar a dhéantar fadhb na bhfoinsí solais gearrthonnta ard-chomhleanúnacha a mhaolú, tá gá níos práinní le feistí modhnúcháin fócais le haghaidh EUV agus x-ghathanna. Cé go léiríonn ábhair ionsú láidir san EUV agus i mbandaí x-ghathaithe boga agus treá láidir sa bhanda crua x-ghathaithe, is iad leatháin tonnbhanda Fresnel na h-aon eilimintí fócasaithe tarchurtha atá ar fáil faoi láthair. Is é Shanghai Institute of Optical Machinery (SIOM) an t-aonad níos luaithe sa tSín chun dul i mbun dearadh agus cur i bhfeidhm feistí x-gha, go háirithe ar bhonn an bhileog ribín traidisiúnta agus an criathar fótóin, ba é SIOM an chéad cheann a mhol agus a d'fhorbair éagsúlacht. de chriathar fótóin ilfócacha le feidhmeanna optúla éagsúla, mar shampla an criathar fótóin dréimire Grecian agus an criathar fótóin Fermat helix, etc., atá in ann freastal ar riachtanais theicniúla íomháú díraonta gearrthonnta agus braite trasnaíochta.
I gcomparáid le slisní tonnbhanda le líon teoranta fáinní, soláthraíonn na milliúin agus na billiúin cró beaga saoirse dearaidh beagnach gan teorainn chun rilleáin fótóin feidhmiúla a theacht chun cinn, agus d'úsáid an chomhfhoireann halgartaim optamaithe chun criathar fótóin féin-forbartha a dhearadh, a ghnóthaíonn optúil dírithe. modhnú agus múnlú réimse réimse sa bhanda EUV. Sa turgnamh, rinneamar an léasair 46.9nm a bharrfheabhsú ón léasair plasma urscaoilte 69.8nm, 46.9nm agus 13.5nm chun an criathar fótóin a ionradaíocht, taifeadadh an réimse solais dírithe le photoresist, agus léigh na sonraí ón micreascóp fórsa adamhach, agus d'éirigh leis a fháil. roinnt tacair de spotaí struchtúrtha le 100nm ag díriú, agus na torthaí i gcomhréir leis an díriú a ríomhtar go teoiriciúil sa teorainn díraonta. Soláthraíonn réadú modhnú agus múnlú eagair EUV agus x-ghathanna deis do liteagrafaíocht struchtúrtha na gearrthonnta. agus deighleoga fuinneoige uisce le haghaidh íomháú cille bitheolaíoch in vivo, diagnóisic interferometric de plasma léasair, micreascópacht x-gha agus íomháú díraonta comhleanúnach, etc. Leathnaíonn réadú modhnú agus múnlú eagair EUV agus x-gha spás forbartha nua.
Thacaigh Fondúireacht Náisiúnta Eolaíochta Nádúrtha na Síne, Clár Yangfan Eolaithe Óga Shanghai, agus Tionscadal Píolótach Straitéiseach Aicme A Acadamh Eolaíochtaí na Síne leis an obair seo.
Fíor 1 Fócasú struchtúrach an tsolais ultraivialait fhoircneach (EUV), (a) léarscáil AFM den láthair fócasach, (bc) déine solais agus céim den láthair fócasach insamhladh
Fíor 2 Spota ilchisealacha le haghaidh solas ultraivialait foircneach
