Le déanaí, tá dul chun cinn nua déanta ag an Roinn Teicneolaíochta agus Innealtóireachta Comhpháirt Léasair Ardchumhachta d'Institiúid Innealra Optaic agus Beachtais Shanghai, Acadamh Eolaíochtaí na Síne (SIPM, CAS) i dtaighde an chórais innéacs de chomhpháirteanna optúla an ghrátála comhbhrúite bíogaigh. córas nochta holografach interferometric statach dúbailte-bhíoma agus an próiseas chun aonchineálacht an réimse solais nochta a rialú. Den chéad uair, tá córas meastóireachta cainníochtúil bunaithe ag an taighde maidir le haonfhoirmeacht réimse optúil nochta machnaimh, agus d'éirigh leis an bhfíorú iarratais sa chóras nochta machnaimh trastomhas beag a bhaint amach. Déantar achoimre ar thorthaí an taighde mar "Sonraíochtaí agus rialú earráidí minicíochta spásúla na gcomhpháirteanna i nochtadh holografach statach léasair dhá-bhíoma le haghaidh fabraic grátála comhbhrú cuisle". Foilsíodh na torthaí taighde gaolmhar in Eolaíocht agus Innealtóireacht Léasair Ardchumhachta faoin teideal "Sonraíochtaí agus rialú earráidí minicíochta spásúla na gcomhpháirteanna i nochtadh holografach statach léasair dhá-bhíoma le haghaidh déantús grátála comhbhrú bíge".
Tá teacht chun cinn agus forbairt tapa léasair ultra-ard-déine, ultra-ghearr bíog tar éis coinníollacha fisiceacha gan fasach agus modhanna turgnamhacha nua a sholáthar don duine, agus tá siad anois ar an teorainn is déanaí d'eolaíocht agus teicneolaíocht léasair idirnáisiúnta agus fócas na hiomaíochta. Is é an gríl comhbhrúite cuisle an croí-chomhpháirt de ghléas léasair ultra-ard-déine agus ultra-ghearr, agus socraíonn oscailt an ghríl teorainn uachtarach na cumhachta aschuir léasair. Níl na cumais ullmhúcháin gráta scála méadair déthreo ag forbairt intíre agus eachtrannacha, nochtadh tarchurtha réimse trasnaíochta statach, splicing nochta agus scribing meicniúil agus modhanna eile.
Tá scéim nuálaíoch molta ag Shanghai Institute of Optical Machinery (SIOM) chun grátálacha comhbhrú bíge ar scála méadair a dhéanamh ag baint úsáide as córas nochta frithchaiteach lasmuigh den ais den scoth. Is é croílár an chláir ná úsáid a bhaint as scátháin parabolacha ard-chruinneas lasmuigh den ais chun dhá bhíoma solais comhthreomhar a fhoirmiú chun raon leathan de réimse solais nochta aonfhoirmeach a thógáil, agus is é an scáthán parabolach lasmuigh den ais a chinnfidh aonfhoirmeacht an réimse solais go príomha. earráid dromchla, go háirithe san earráid ardmhinicíochta. Mar gheall ar an easpa córas meastóireachta cainníochtúil ar earráidí déantúsaíochta ar aonfhoirmeacht réimse éadrom agus an próiseas meaisínithe ard-chruinneas gaolmhar le cóineasú comhsheasmhach earráidí ar fud an raon minicíochta, níl aon fasach rathúil ann fós.
Bunaithe ar theoiric díraonta an réimse solais saor in aisce, tá múnla mapála bunaithe ag an bhfoireann idir an earráid banna minicíochta ar dhromchla scátháin parabolacha frithchaiteacha lasmuigh den ais agus aonchineálacht an réimse solais nochta, bhunaigh córas innéacs cainníochtúil don mhinicíocht. earráid banna ar chruth an dromchla scátháin, agus ansin teicneolaíocht phróiseála nuálaíoch a chur ar aghaidh chun earráid banna lán-minicíochta an scátháin nochta a chóineasú d'aon toil. De réir an chórais meastóireachta innéacs arna chinneadh ag an múnla, ba cheart go mbeadh earráidí lár-minicíochta agus ard-minicíochta na scátháin nochta níos fearr ná 0.65 nm agus 0.5 nm, faoi seach, agus dá bhrí sin, rinneadh córas nochta frithchaiteach lasmuigh den ais de Φ300 mm trí ghlacadh leis an teicneolaíocht phróiseála thuas. Sa chóras seo, cuireadh RMS an scátháin faoi chois go 0.586 nm agus 0.462 nm, agus cuireadh deireadh leis an earráid thréimhsiúil agus an earráid stripe rialta go hiomlán. Ar deireadh, rinneadh gríl díraonta scannáin ilchisealach tréleictreach (MLD) ar mhéid 200 mm × 150 mm a dhéanamh go rathúil trí úsáid a bhaint as an gcóras nochta seo, le meánéifeachtúlacht díraonta 98.1% ag an leibhéal -1 agus tá aghaidh tonn díraonta PV níos fearr. ná 0.3 tonnfhad.
Soláthraíonn an taighde seo chun gríl díraonta mórchró a dhéanamh bealach nua, chun feiste léasair ardchumhachta 100 pat-watt a fhorbairt ina dhiaidh sin a theastaíonn don ghríl comhbhrú bíog-scála méadar ar an mbonn teicniúil.
Tá tacaíocht tugtha don obair ghaolmhar ag Príomhchlár T&F na hAireachta Eolaíochta agus Teicneolaíochta, Ciste Óige Fhondúireacht Eolaíochta Nádúrtha na Síne, Clár Seolta Buanna Eolaíochta agus Teicneolaíochta Choimisiún Eolaíochta agus Teicneolaíochta Shanghai Municipal Shanghai, agus Shanghai Municipal. Cistí Speisialta chun Tionscail atá ag Teacht Chun Cinn a Fhorbairt, i measc cistí eile.
Fíor 1 Torthaí earráide lán-minicíochta de chóras nochta scátháin parabolic Φ300mm eis-ais: (a) Earráid chrutha aghaidhe íseal-minicíochta an scátháin as-ais tomhaiste trí úsáid a bhaint as trasnamhéadar Zygo 4-orlach 4-orlach. (b) Pictiúir den earráid lár-minicíochta agus dáileadh réimse solais a fhaightear tar éis scagadh de réir an mhúnla; (c) Earráid ardmhinicíochta a fhaightear trí úsáid a bhaint as próifíleoir solas bán Zygo ar a bhfuil lionsa 20x agus grianghraf den masc gráta arna thomhas ag micreascóp. (d) cuar dlús speictreach cumhachta 1T.
Fíor 2 Tonnéadanas díraonta agus dáileadh éifeachtúlachta de ghríl MLD 200mm × 150mm: (a) Toinne-aghaidh díraonta leibhéal -1. (b) 0-tonnéadanas díraonta leibhéil. (c) +1-tonnéadanas díraonta leibhéil. (d) Éifeachtúlacht díraonta an ghríl MLD ag 1740 l/mm, le héifeachtacht díraonta aonfhoirmeach laistigh den chró éifeachtach ag 1053 nm (Ave=98.1%, σ=0.3%, Uasmhéid {{ 12}}.6%). (e) Íomhá fhisiciúil den ghríl MLD ag baint úsáide as an modh frithchaiteachais.
