Ar 5 Eanáir, 2025, tá Saotharlann Náisiúnta Lawrence Livermore (LLNL) ag forbairt teicneolaíocht léasair petawatt-bhunaithe atá bunaithe ar thulium a bhfuiltear ag súil go dtiocfaidh sé in ionad na léasair dé-ocsaíde carbóin a úsáidtear in uirlisí liteagrafaíochta ultraivialait (EUV) atá ann faoi láthair agus go méadóidh sé éifeachtúlacht foinse de thart ar dheich. D’fhéadfadh an dul chun cinn seo an bealach a réiteach do ghlúin nua de chórais liteagrafaíochta “Beyond EUV” ar féidir leo sceallóga a dhéanamh níos tapúla agus le níos lú fuinnimh.
Faoi láthair, is ábhar mór imní é tomhaltas fuinnimh na gcóras liteagrafaíochta EUV. Mar shampla, itheann córais liteagrafaíochta Low-NA agus High-NA EUV, mar shampla, an oiread agus 1,170 kW agus 1,400 kW, faoi seach. Eascraíonn an tomhaltas ardfhuinnimh seo ó phrionsabal an chórais EUV: déanann bíoga léasair ardfhuinnimh braoiníní stáin a ghalú (500, 000 céimeanna Celsius) na mílte uair in aghaidh an tsoicind chun plasma a chruthú agus solas a astú ag tonnfhad 13.5 nana-nanaiméadair. Ní hamháin go n -éilíonn an próiseas seo córas fairsing léasair agus córas fuaraithe, ní mór é a dhéanamh i dtimpeallacht i bhfolús chun cosc a chur ar sholas EUV a bheith gafa leis an aer. Ina theannta sin, ní léiríonn na hard -scátháin in uirlisí EUV ach cuid den solas EUV, mar sin tá gá le léasair níos cumhachtaí chun tréchur a mhéadú.
Tá an teicneolaíocht is mó atá ag LLNL "Laser Laser Chró mór (BAT) (BAT) deartha chun aghaidh a thabhairt ar na saincheisteanna seo. Murab ionann agus léasair dé-ocsaíde carbóin, a bhfuil tonnfhad de thart ar 10 miocrón acu, oibríonn an léasair ialtóg ag tonnfhad de 2 mhiocrón, a fheabhsaíonn go teoiriciúil éifeachtúlacht tiontaithe plasma-gouv na mbraoiníní stáin agus iad ag idirghníomhú leis an léasair. Ina theannta sin, úsáideann an córas BAT teicneolaíocht solad-stáit dé-óid, a sholáthraíonn éifeachtúlacht leictreach níos airde agus bainistíocht teirmeach níos fearr ná léasair CO2 gáis.
I dtosach báire, bheartaigh an fhoireann taighde LLNL an léasar ialtóg dhlúth, ard-athfhiontair a chur le chéile le córas foinse solais EUV chun a idirghníomhaíocht le braoiníní stáin a thástáil ag tonnfhad de 2 mhiocrón, "a dúirt LLNL Laser Physicist Brendan Reagan le cúig bliana anuas, tá na cúig bliana seo caite ag na cúig bliana anuas, tá an teoiric atá ag an bplásma a shaoradh agus a shaoradh pléasra a shaoradh agus an teoiric atá ag an bplásáil a shaoradh an teoiric a shaoradh an teoiric atá ag an bpléasra a shaoradh an teoiric atá ag an bplásma simulations thar na Simonuts Simulations a bheith acu Tionscadal. Tá tionchar suntasach ag ár gcuid oibre cheana féin i réimse na liteagrafaíochta EUV, agus táimid ag súil anois leis an gcéad chéim eile inár dtaighde. "
Mar sin féin, tá gá le dúshláin na modhnuithe bonneagair móra a shárú fós chun teicneolaíocht BAT a chur i bhfeidhm maidir le táirgeadh leathsheoltóra. Tá na córais EUV reatha tar éis fiche nó tríocha bliain a dhéanamh aibí, agus mar sin d'fhéadfadh go dtógfadh sé níos faide an teicneolaíocht ialtóg a chur i bhfeidhm go praiticiúil.
Tá sé tuartha ag an ngnólacht anailísí tionscail TechInsights go n -itheann gléasraí déantúsaíochta leathsheoltóra 54, 000 gigawatts (GW) de leictreachas gach bliain, níos mó ná úsáid bhliantúil leictreachais Singeapór nó an Ghréig. D'fhéadfaí an fhadhb tomhaltais fuinnimh a dhoimhniú níos mó má thagann teicneolaíocht liteagrafaíochta EUV Hyper-numerical (Hyper-NA) chun an mhargaidh. Mar thoradh air sin, leanfaidh an gá atá ag an tionscal le teicneolaíocht Meaisín EUV níos éifeachtaí, a shábháil ar fhuinneamh, agus is cinnte go n-osclaíonn teicneolaíocht léasair ialtóg LLNL féidearthachtaí nua don sprioc seo.
